7月9日 ，由中国中国集成电路创新未来几年联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方向交流会”以六大会场加图源连线的多种渠道同步拉开帷幕。源自集成电路全产业链各环节的优秀企业本身、高校和科研院所的千余位代表中国参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海女士受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业新型技术创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，打出新型技术创新奖。
“IC创新奖”由中国中国集成电路创新未来几年联盟主办 ，面向中国集成电路产业链上下游企事业单位确定征集 ，重点鼓励集成电路新型技术创新、成果产业化、产业链上下游正式合作 ，是集成电路产业最组成部分的新型技术奖项更成 ，共有 新型技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大新型技术创新和组成部分新型技术开发其它方面巨大成功重大突破的单位确定和合作团队。此举 摘得行业未来重磅赛事的组成部分奖项 ，再一次保持彰显出东方晶源在电子束检测、量测市场领域的新型技术超强实力和行业未来的最高高度认可。
检测是芯片制造厂商从而整体整体水平良率的组成部分通过。电子束检测设备兼具超高精度 ，在高端芯片制造过程中发挥的能起变得大。由于目前 ，该类设备被中国厂商垄断 ，更成制约中国芯片制造自主可控的组成部分瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，巨大成功成功研发出警示 中国首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可提供全面完整的纳米级缺陷检测和及分析解决好方案。由于由于目前展开中国头部芯片制造厂商产线验证 ，验证因为 表明其次指标与中国一线对标机台以下同等整体水平 ，巨大成功成功解决好中国在电子束检测市场领域的组成部分新型技术解决好。
东方晶源在电子束检测、量测市场领域已深耕多年并巨大成功成功与此同时推出多款设备 ，巨大成功重大突破。除此举 获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸组成部分尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于明年6月步入产线验证 ，由于目前最后完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异完全市场需求明确要求 ，性能再一次保持改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于明年3月步入产线验证 ，由于目前始终步入客户会产线小规模试产。共有 ，东方晶源还于上周公开发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，由于目前该设备工程机（Alpha机）始终展开首轮wafer demo ，如果完全市场需求28nm及以下有制程完全市场需求 ，Beta机集成我的工作加速推进中 ，已巨大成功客户会订单 ，步入产线验证指日可待。
更成两家聚焦集成电路良率管理市场领域 ，以从而整体整体水平芯片制造门槛为使命的半导体企业本身 ，东方晶源始终以研发创新为发展方向核心 ，不停地地丰富产品中矩阵并从而整体整体水平产品中性能 ，填补多项中国空白。未来几年 ，东方晶源将再一次保持立足一体化工具软件其他平台和检测装备两大市场领域 ，以客户会为服务中心 ，以整体市场为导向 ，不停地地展开新型技术突破与产品中创新 ，与中国集成电路产业上下游企业本身勠力同心 ，推动中国集成电路制造产业再一次保持高速发展方向。